[发明专利]对电镀添加剂的监视有效

专利信息
申请号: 201080034658.4 申请日: 2010-07-29
公开(公告)号: CN102471919A 公开(公告)日: 2012-05-23
发明(设计)人: 马克·J·威利;郭廉;史蒂文·T·迈尔 申请(专利权)人: 诺发系统有限公司
主分类号: C25D21/14 分类号: C25D21/14;C25D21/12;C25D21/18;C25D17/00
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 沈锦华
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明揭示通过在施加负电位的同时使具有预调节剂物质的预调节电镀溶液流动穿过流通式电解检测池的流动通道来预调节所述流动通道中的工作电极。将液体穿过所述流动通道的流动从预调节溶液快速地转换成含有待测量的有机目标溶质的目标溶液。通过在初始瞬变时间周期期间测量电流密度来检测由所述工作电极暴露于有机目标溶质引起的系统的瞬变响应。通过将所述瞬变响应与已知浓度所特有的一个或一个以上瞬变响应进行比较来确定目标溶质的未知浓度。优选测量系统可操作以在约200毫秒或更短时间内将流动从预调节溶液转换成目标溶液。
搜索关键词: 电镀 添加剂 监视
【主权项】:
一种确认电解溶液中的目标溶质的浓度的方法,其包括以下步骤:(a)使含有金属离子和预调节物质的电解预调节溶液流动穿过流通式电解电量计的流动通道;(b)通过将电位施加到位于所述流动通道中的工作电极而使所沉积金属和所吸附预调节物质形成于所述工作电极上;(c)接着停止所述预调节溶液穿过所述流动通道的流动;(d)紧接于所述停止预调节溶液的流动之后,起始电解目标溶液穿过所述流动通道的流动,所述电解目标溶液包含金属离子和目标浓度的所述目标溶质;(e)在紧接于所述起始流动之后的瞬变时间周期期间,将电位施加到所述工作电极并使用所述流通式电解电量计来测量所述电解目标溶液的电性质的多个瞬变值,其中所述瞬变值因所述所吸附预调节物质的存在而受到影响;和(f)根据在所述瞬变时间周期期间所测量的所述多个瞬变值确定所述目标浓度。
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