[发明专利]用于制造甲硅烷的装置和方法无效
| 申请号： | 201080035278.2 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102548628A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | A·佩特里克;J·哈恩;C·施米德 | 申请（专利权）人： | 施米德硅晶片科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D3/00 | 分类号： | B01D3/00;C01B33/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;杨国治 |
| 地址： | 德国弗罗*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 描述了用于通过三氯硅烷(SiHCl3)的催化歧化来制造甲硅烷(SiH4)的装置和方法。三氯硅烷在反应塔(100)中在催化剂处转化并且紧接着在精馏塔(109)中提纯。在反应塔(100)中的反应/蒸馏的反应区域(104；105)和精馏塔(109)之间布置一个或多个冷凝器(103)，在该冷凝器(103)中来自反应塔(100)的含甲硅烷的反应产物部分冷凝。在此，然而仅涉及在温度高于-40℃时运行的冷凝器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 硅烷 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于通过三氯硅烷的催化歧化来制造甲硅烷的装置，包括·反应塔(100)，带有：反应/蒸馏的反应区域(104；105)，在所述反应区域(104；105)中三氯硅烷在催化剂处转化；和用于含甲硅烷的反应产物的导出管路(102)，·精馏塔(109)，在所述精馏塔(109)中将含甲硅烷的反应产物提纯，以及·在所述反应塔(100)中的所述反应/蒸馏的反应区域(104；105)和所述精馏塔(109)之间的一个或多个冷凝器(103)，在所述一个或多个冷凝器(103)中含甲硅烷的反应产物在随后的在所述精馏塔(109)中的提纯前而部分冷凝，其中，布置在所述反应/蒸馏的反应区域(104；105)和所述精馏塔(109)之间的所述冷凝器(103)中没有一个具有低于负40℃的运行温度。
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