[发明专利]用于基材热处理的装置和处理室无效

专利信息
申请号: 201080035899.0 申请日: 2010-08-12
公开(公告)号: CN102612631A 公开(公告)日: 2012-07-25
发明(设计)人: E·诺瓦克;J·特鲁布 申请(专利权)人: 莱博德光学有限责任公司
主分类号: F27B9/30 分类号: F27B9/30;C03B27/044;C03B29/08
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 胡强
地址: 德国阿*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及用于平面基材(10)的热处理的处理室(20,21,21′)。处理室(20,21,21′)包括用于在热处理过程中输送和存放基材(10)的输送装置(25,25′)和用于对流加热或对流冷却该基材(10)的气体供给机构(30,30′)。气体供给机构(30,30′)具有多个出口孔(32,32′),温度经过调节的气体通过该出口孔被送至基材(10)。而且,在处理室(20,21,21′)内设有抽排机构(33,33′),可通过该抽排机构有目的地抽排经气体供给机构(30,30′)被送入处理室(20,21,21′)的气体。处理室能以加热处理室(21)或冷却室(21′)的形式构成。
搜索关键词: 用于 基材 热处理 装置 处理
【主权项】:
一种用于平面基材(10)的热处理的处理室(20,21,21′),具有用于在热处理过程中输送并存放该基材(10)的输送装置(25,25′)和用于对流加热或对流冷却该基材(10)的气体供给机构(30,30′),其中该气体供给机构(30,30′)在靠近该基材(10)的区域内具有多个用于气体的出口孔(32,32′),其特征是,该处理室(20,21,21′)具有用于有目的地抽排通过该气体供给机构(30,30′)被送入该处理室(20,21,21′)的气体的抽排机构(33,33′)。
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