[发明专利]叉指状竖直平行电容器

摘要

一种叉指状结构，其可以包括：至少一个第一金属线；至少一个第二金属线，其与至少一个第一金属线平行并且与其分离；以及第三金属线，其与至少一个第一金属线的端部接触，并且与至少一个第二金属线分离。至少一个第一金属线并不与任何金属过孔竖直接触，而至少一个第二金属线可以与至少一个金属过孔竖直接触。多层的叉指状结构可以竖直地堆叠。备选地，叉指状结构可以包括多个第一金属线、多个第二金属线，每个金属线并不与任何金属过孔垂直接触。可以在旋转或者不旋转的情况下，使叉指状结构的多个实例横向地复制和结合，和/或竖直堆叠以形成电容器。

主权项

一种器件结构，包括：位于衬底上的至少一个介电层(100)；嵌入在所述至少一个介电层中的多个叉指状结构，其中所述多个叉指状结构相互竖直间隔，并且所述多个叉指状结构中的每个包括至少一个第一金属线(10)、至少一个第二金属线(20)、以及至少一个第三金属线(110)；至少一个第一竖直导电过孔(112)，其具有与所述至少一个第三金属线(110)中的一个竖直接触的顶表面，和与所述至少一个第三金属线(110)中的另一个竖直接触的底表面；以及至少一个第二竖直导电过孔(22)，其具有与所述至少一个第二金属线(20)中的一个竖直接触的顶表面，和与所述至少一个第二金属线(20)中的另一个竖直接触的底表面，其中所述至少一个第一金属线(10)与所述至少一个第三金属线(110)中的全部均相互阻性地连接，并且与所述至少一个第二金属线(20)电隔离，以及所述至少一个第二金属线(20)中的全部均彼此或者相互阻性地连接。