[发明专利]硅锭切片用水溶性切削液

摘要

本发明提供一种水溶性切削液，其于硅锭的切削步骤中，与先前品相比润滑性优异，因此可提高切削加工效率，另外，由于由水与硅的反应所引起的引火性的氢产生得到抑制，故而安全性优异，并且由于该水溶性切削液为低泡性，故而不会产生循环使用中的起泡等问题。本发明的硅锭切片用水溶性切削液的特征在于：包含碳数(包括羰基的碳)为4～10的一元或二元脂肪族羧酸(A)、及下述数式(1)所表示的ΔpKa为0.9～2.3的多元有机酸(B)或者该有机酸(B)的盐(BA)作为必需成分。ΔpKa＝(pKa2)-(pKa1)(1)，其中，将使作为n元酸HnA的有机酸(B)成为Hn-1A+H+的解离段为1时的酸解离常数表示为pKa1；将使成为Hn-2A+H+的解离段为2时的酸解离常数表示为pKa2。

主权项

一种硅锭切片用水溶性切削液，其特征在于：包含碳数(包括羰基的碳)为4～10的一元或二元脂肪族羧酸(A)、及下述数式(1)所表示的ΔpKa为0.9～2.3的多元有机酸(B)或者该有机酸(B)的盐(BA)作为必需成分，ΔpKa＝(pKa2)‑(pKa1)    (1)其中，将使作为n元酸HnA的有机酸(B)成为Hn‑1A+H+的解离段为1时的酸解离常数表示为pKa1，将使成为Hn‑2A+H+的解离段为2时的酸解离常数表示为pKa2。