[发明专利]用于薄膜激光刻划的且具有提高的产量的方法和相关系统

摘要

本发明提供了一种用于制造太阳能电池组件的方法和相关系统。方法的实例包括：形成一系列层，并在形成与任意隔离线相关的特征之前在所述层中刻划一系列对准的互联线。与现有的方法相比，所述方法的实例提供连续刻划的互联线的使用，在所述现有的方法中，至少一个互联线被分段以避免穿过先前形成的隔离线相关特征而进行刻划，所述先前形成的隔离线相关特征处于将要刻划隔离线的位置。使用连续刻划的互联线的能力可提高制造工艺的产量。

主权项

一种用于制造太阳能电池组件的方法，所述方法包括：提供工件，所述工件包括基板和第一层；将多个第一互联线刻划到所述第一层中；在将第二层沉积到所述第一层上和沉积到所述第一互联线中之后，将多个第二互联线刻划到所述第二层中，其中每一个所述第二互联线都与所述第一互联线中的一个相邻，且其中每一个第二互联线都是连续的；在将第三层沉积到所述第二层上和沉积到所述第二互联线中之后，将多个第三互联线刻划到所述第二层和刻划到所述第三层中，其中每一个所述第三互联线都与所述第二互联线中的一个相邻；以及将多个隔离线刻划到所述第一层、所述第二层以及所述第三层中。