[发明专利]用于测量厚度变化的设备、使用该设备的系统、使用该设备的形貌显微镜、测量厚度变化的方法、以及使用该测量方法获取形貌图像的方法有效
| 申请号： | 201080038383.1 | 申请日： | 2010-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN102625902A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 徐逢敏 | 申请（专利权）人： | 徐逢敏 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧霁晨;王忠忠 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种厚度变化测量设备，其能够通过低廉且简单的配置以准确且精确的方式测量微小的厚度变化，本发明还涉及使用该设备的系统、使用该设备的表面显微镜、厚度变化测量方法、以及使用该测量方法的表面图像获取方法。为此，厚度变化测量设备包括：光源，所述光源用于照射光束到要测量的物体上；弯曲反射器，所述弯曲反射器反射被要测量的物体反射的光束；以及感测单元，所述感测单元感测被所述弯曲反射器反射的光束。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 厚度 变化 设备 使用 系统 形貌 显微镜 方法 以及 测量方法 获取 图像 | ||
【主权项】：
一种用于测量厚度变化的设备，所述设备包括：光源，所述光源用于照射光束到目标物体上；弯曲反射器，所述弯曲反射器用于反射从所述目标物体反射并入射到所述弯曲反射器上的光束；以及感测单元，所述感测单元用于感测从所述弯曲反射器反射的光束。
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