[发明专利]蒸发器、由蒸发器组成的机构和覆层设备无效
申请号: | 201080039475.1 | 申请日: | 2010-07-08 |
公开(公告)号: | CN102482761A | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | K.布尔格;G.施奈德;C.赫韦格 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李永波;杨国治 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种蒸发器(1),带有用于在真空中蒸发优选有机的材料以便尤其在制造有机的发光二极管或有机的太阳能电池和/或有机的电子器件时制造大面积覆层的热源,该蒸发器包括带有用于得到蒸发的材料的出口(5)的蒸发容器(3)和在该出口(5)后方布置的排出通道(7),得到蒸发的材料可以通过该排出通道流向待覆层的材料。按本发明规定,在材料蒸发期间可以调整出口(5)的自由横截面和/或排出通道(7)的自由横截面。此外本发明还涉及一种由至少两个优选仅两个蒸发器组成的机构、一种覆层设备以及蒸发器和/或由蒸发器组成的机构和/或覆层设备的应用。 | ||
搜索关键词: | 蒸发器 组成 机构 覆层 设备 | ||
【主权项】:
一种蒸发器,带有用于在真空中蒸发优选有机的材料以便尤其在制造有机的发光二极管或有机的太阳能电池和/或有机的电子器件时制造大面积覆层的热源,该蒸发器包括带有用于得到蒸发的材料的出口(5)的蒸发容器(3)和在该出口(5)后方布置的排出通道(7),得到蒸发的材料能够通过该排出通道流向待覆层的材料,其特征在于,在材料蒸发期间能够调整出口(5)的自由横截面和/或排出通道(7)的自由横截面。
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