[发明专利]金属氧化物-金属复合溅射靶无效
| 申请号： | 201080041069.9 | 申请日： | 2010-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102498233A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 松崎均;高木胜寿;慈幸范洋;得平雅也 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;G11B7/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 翟赟琪 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种对于含有金属氧化物和金属的光信息记录媒体用记录层等的形成有用的金属氧化物-金属复合溅射靶。本发明的溅射靶是含有金属氧化物A和金属B的金属氧化物-金属复合溅射靶，所述金属氧化物A的当量圆直径的最大值控制在200μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 复合 溅射 | ||
【主权项】：
一种金属氧化物‑金属复合溅射靶，其是含有金属氧化物A和金属B的金属氧化物‑金属复合溅射靶，其中，所述金属氧化物A的当量圆直径的最大值被控制在200μm以下。
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