[发明专利]具有波长识别的光电检测器、其形成方法及设计结构有效

专利信息
申请号: 201080041299.5 申请日: 2010-09-02
公开(公告)号: CN102498567A 公开(公告)日: 2012-06-13
发明(设计)人: J.M.埃特肯 申请(专利权)人: 国际商业机器公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L31/10
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 吴立明;杨移
地址: 美国纽*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明一般地涉及光电检测器及其形成方法,更特别地涉及光学的光电检测器。光电检测器(10)包括具有控制被检测的特定波长或特定波长范围的半径的波导(35)。本发明还涉及前述光电检测器的设计结构。
搜索关键词: 具有 波长 识别 光电 检测器 形成 方法 设计 结构
【主权项】:
一种光电检测器,包括:半导体衬底;所述半导体衬底内的光转换器件;在所述光转换器件之上的第一层;在所述第一层之上的第二层;以及具有半径r并定位于所述第一层和所述光转换器件之上的波导,其中r在约1000埃至约4000埃的范围内。
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