[发明专利]背接触太阳能电池中的通孔的激光钻孔

摘要

本发明的实施例涉及在制造背接触太阳能电池(诸如发射极穿绕(EWT)太阳能电池)期间、用于在硅衬底中激光钻孔的方法和设备。在一个实施例中，该方法和设备使用短焦距平场透镜和动态扫描技术来在硅衬底中完成单次脉冲钻孔。相比于常规的设备和处理，该方法和设备使得速度和在EWT太阳能电池衬底中的孔的质量增加。

主权项

一种用于形成穿过衬底的孔的方法，其包括如下步骤：使用激光扫描仪在所述衬底的表面的第一部分内形成穿过所述衬底的孔的第一图案；将所述激光扫描仪定位在所述衬底的表面的第二部分上方，所述第二部分与所述第一部分相邻；以及在所述第二部分内形成穿过所述衬底的孔的第二图案，其中，利用单次激光脉冲来形成每个孔。