[发明专利]有源矩阵基板及其制造方法和图像显示装置有效

专利信息
申请号: 201080042815.6 申请日: 2010-09-21
公开(公告)号: CN102576507A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 池田典昭;今村千裕;伊藤学 申请(专利权)人: 凸版印刷株式会社
主分类号: G09F9/30 分类号: G09F9/30;G02F1/1368;G02F1/167;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/32;H01L29/417;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/50;H05B33/12
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 金世煜;苗堃
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及有源矩阵基板以及图像显示装置,该有源矩阵基板由于漏电极和像素电极容易连接且半导体电路和滤色器容易对位,所以成品率高、且开口率高。本发明的有源矩阵基板,其特征在于,是以薄膜晶体管(101)构成像素、排列多个该像素而形成的有源矩阵基板,所述薄膜晶体管(101)在基板(1)上具有栅极电极(2)、栅极电极(2)上的栅极绝缘层(4)、栅极绝缘层(4)上的半导体活性层(5)、与半导体活性层(5)连接的源电极(7)和漏电极(8)、与漏电极(8)连接的像素电极(10)、和用于将源电极(7)和像素电极(10)绝缘的层间绝缘层(9);以将半导体活性层(5)分为二个露出区域的方式在半导体活性层上形成保护膜(6),在该两个露出区域的一方源电极(7)与半导体活性层(5)连接,在另一方漏电极(8)与半导体活性层(5)连接,漏电极(8)在保护膜(6)上与像素电极(10)连接。
搜索关键词: 有源 矩阵 及其 制造 方法 图像 显示装置
【主权项】:
一种有源矩阵基板,其特征在于,是薄膜晶体管构成像素、排列多个该像素而形成的有源矩阵基板,所述薄膜晶体管在基板上具有栅极电极、栅极电极上的栅极绝缘层、栅极绝缘层上的半导体活性层、与半导体活性层连接的源电极和漏电极、与漏电极连接的像素电极、和用于将源电极和像素电极绝缘的层间绝缘层,以将半导体活性层分成两个露出区域的方式在半导体活性层上形成有保护膜,在该两个露出区域中的一方源电极与半导体活性层连接,在另一方漏电极与半导体活性层连接,漏电极在保护膜上与像素电极连接。
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