[发明专利]清扫嘴和具备该清扫嘴的尘埃除去装置无效
申请号: | 201080043857.1 | 申请日: | 2010-09-21 |
公开(公告)号: | CN102548673A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 安田忠睦;田村保则 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | B08B5/04 | 分类号: | B08B5/04;B08B5/00;H01L21/304 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种清扫嘴,其具备吸入嘴,该吸入嘴在内部具有气体流路,且在一端形成有吸入口,并且在另一端形成有排气口,利用从吸入口吸入并从排气口排出的抽吸气流使附着于被处理体的表面的尘埃脱离,在吸入嘴内面的一部分设有用于捕获尘埃的粘附层。 | ||
搜索关键词: | 清扫 具备 尘埃 除去 装置 | ||
【主权项】:
一种清扫嘴,其特征在于,具备吸入嘴,该吸入嘴在内部具有气体流路,且在一端形成有吸入口,并且在另一端形成有排气口,利用从上述吸入口吸入并从上述排气口排出的抽吸气流使附着于被处理体的表面的尘埃脱离,在上述吸入嘴内面的至少一部分设有用于捕获上述尘埃的粘附层。
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