[发明专利]用于抑制金属微细结构体的图案倒塌的处理液和使用其的金属微细结构体的制造方法有效
| 申请号： | 201080044583.8 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102575360A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 大户秀;松永裕嗣;山田健二 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于抑制金属微细结构体的图案倒塌的处理液以及使用该处理液的金属微细结构体的制造方法。所述处理液含有选自具有碳原子数12、14或16的烷基的咪唑鎓卤化物、具有碳原子数14或16的烷基的吡啶鎓卤化物、具有碳原子数14、16或18的烷基的卤化铵、具有碳原子数12、14或16的烷基的甜菜碱化合物、具有碳原子数14、16或18的烷基的氧化胺化合物中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抑制 金属 微细 结构 图案 倒塌 处理 使用 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于抑制金属微细结构体的图案倒塌的处理液，其含有选自具有碳原子数12、14或16的烷基的咪唑鎓卤化物、具有碳原子数14或16的烷基的吡啶鎓卤化物、具有碳原子数14、16或18的烷基的卤化铵、具有碳原子数12、14或16的烷基的甜菜碱化合物、具有碳原子数14、16或18的烷基的氧化胺化合物中的至少一种。
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