[发明专利]电容式传感器有效
| 申请号： | 201080045864.5 | 申请日： | 2010-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102741672A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 沈东演;添田将 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01K7/34 | 分类号： | G01K7/34;G01D5/24;H01L29/84 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够降低电力消耗、且能够进行间歇动作的电容式传感器。本发明的电容式传感器为能够检测第1电容和第2电容的电容式传感器(1)，其包含：构件(10)，其具有导电性，且形成有可动的隔板(11)；薄膜电极(21)，在薄膜电极(21)和隔板(11)之间形成第1电容；薄膜电极(31)，在薄膜电极(31)和隔板(11)之间形成第2电容；上部构件(20)，其被设置为在上部构件(20)和隔板(11)的上表面之间形成空间(S1)；和下部构件(30)，其被设置为在下部构件(30)和隔板(11)的下表面之间形成空间(S2)，气体(A1)被封入第1空间(S1)中，热膨胀率与气体(A1)不同的气体(A2)被封入第2空间(S2)中。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 传感器 | ||
【主权项】：
一种电容式传感器，其是能够检测第1电容和第2电容的电容式传感器，其特征在于，包含：第1构件，所述第1构件具有导电性，且形成有可动的电极板；第1电极，在所述第1电极和所述电极板之间形成所述第1电容；第2电极，在所述第2电极和所述电极板之间形成所述第2电容；第2构件，所述第2构件被设置为在所述第2构件和所述电极板的一个表面之间形成第1空间；和第3构件，所述第3构件被设置为在所述第3构件和所述电极板的另一个表面之间形成第2空间，第1气体被封入所述第1空间中，热膨胀率与所述第1气体不同的第2气体被封入所述第2空间中。
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