[发明专利]CO2气体放电激光器的预电离方法

摘要

RF供电的CO2气体放电激光器包括放电电极和在该电极之间的激光气体混合物。当将该RF电源用于这些电极时，电离该激光气体混合物，当已经将该RF电源使用了足以在该激光气体混合物中点着放电的持续时间时，启动激光动作。通过周期地将该RF电源用于这些电极达到期间不期望发生放电点着的预定周期来预电离该气体混合物。监视从这些电极反射回路的RF电源。如果在该预定持续时间已经逝去之前该监视的电源落在指示激光动作的即将启动的预定等级之下，终止该RF电源到这些电极的应用以阻止该激光动作发生。

主权项

在RF供电的气体放电激光器中，包括放电电极和在这些电极之间的激光气体混合物，当将该RF电源用于这些电极时，电离该激光气体混合物，当已经将该RF电源使用了足以点着放电的持续时间时，启动激光动作，一种预电离该激光气体混合物的方法，包括步骤：启动到这些电极的RF电源的应用；监视来自这些电极的反射回来的RF电源；和当该监视的反射RF电源落在指示激光动作即将启动的预定等级之下时，终止该RF电源到这些电极的应用以阻止该激光动作发生。