[发明专利]高纯度氟气、其生产和用途、以及用于监测氟气中杂质的方法无效
| 申请号： | 201080046889.7 | 申请日： | 2010-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102574682A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 霍尔格·珀尼斯;约翰内斯·艾歇尔;弗朗西斯·费斯;多米尼克·巴尔塔萨尔特;克里斯托弗·萨默;哈拉尔德·克鲁格 | 申请（专利权）人： | 苏威氟有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/20 | 分类号： | C01B7/20;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 顾晋伟;王春伟 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于生产氟气的装置，该装置包括至少一个氟产生池、以及至少一个用于对该氟产生池所得到的产物的组分进行检测的氟产生池检测器，其中这些氟产生池中至少一个是与该氟产生池检测器相连。 | ||
| 搜索关键词： | 纯度 氟气 生产 用途 以及 用于 监测 杂质 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生产氟气的装置，该生产氟气的装置包括至少一个氟产生池、以及至少一个用于检测由该氟产生池得到的产物的组分的氟产生池检测器，其中所述氟产生池的至少一个与该氟产生池检测器相连。
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