[发明专利]用于借助于激光三角法进行层厚度测量的方法和装置无效
| 申请号： | 201080047224.8 | 申请日： | 2010-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN102575927A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 托尔斯滕·梅尔策-约基施;安德烈亚斯·奥佩特;迪米特里奥斯·托迈迪斯 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;田军锋 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 通过在构件进行覆层之前和之后进行激光三角测量来使过程监控自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 借助于 激光 三角 进行 厚度 测量 方法 装置 | ||
【主权项】：
用于确定待覆层的构件(1、120、130、155)的层厚度的方法，其中在覆层(II)之前(I)和期间或者之后(III)借助于激光三角法测量所述构件(1、120、130、155)，并且从所述构件(1、120、130、155)的不同的测量(V)中计算层厚度，其中考虑所述构件(1、120、130、155)的变形。
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