[发明专利]用于制造薄膜电池的方法与工厂有效
| 申请号： | 201080047312.8 | 申请日： | 2010-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102576899A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 秉-圣·郭;斯蒂芬·班格特;迪特尔·哈斯;奥姆卡拉姆·诺拉马苏 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01M10/04 | 分类号： | H01M10/04;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文描述用于制造薄膜电池的方法与工厂。方法包括用于制造薄膜电池的操作。工厂包括用于制造薄膜电池的一个或更多个工具组。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 薄膜 电池 方法 工厂 | ||
【主权项】：
一种用于锂基薄膜电池制造的工厂布局，所述工厂布局包括：第一处理工具，所述第一处理工具用以沉积金属或半导体层；第二处理工具，所述第二处理工具用以沉积有源层；第三处理工具，所述第三处理工具用以进行快速热处理；第四处理工具，所述第四处理工具用以沉积介电层；第五处理工具，所述第五处理工具用以执行反应性离子蚀刻；以及第六处理工具，所述第六处理工具用以沉积薄膜电池的特制层。
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