[发明专利]纳米粒子的产生

摘要

公开了一种用于产生纳米粒子的设备，包括腔室；磁控管，所述磁控管位于所述腔室之内并且包括：圆柱形靶，其至少具有待沉积材料的外表面和中空内部；处于所述中空内部之内的磁通量源，其被布置为在相对于所述圆柱形靶的径向向外方向上呈现磁极；和驱动装置，其用于对所述靶和所述磁通量源施加轴向上的相对运动，所述腔室具有至少一个孔并且被放置在与所述腔室的内部相比气压相对较低的容器内。腔室优选地为实质圆柱形，并且理想地与靶实质同轴以便提供对称布置。靶的运动表明其活性表面的侵蚀在较宽区域上扩展，而不会集中于局部区域。这使得更高效地使用靶材料。靶的运动优选地是往复运动。一般而言，如果磁通量源保持静止而靶运动则更加方便，但其他布置也是可以的。

主权项

一种用于产生纳米粒子的设备，包括：腔室；磁控管，其位于所述腔室之内，并且包括：圆柱形靶，其至少具有待沉积材料的外表面和中空内部；处于所述中空内部之内的磁通量源，其被布置为在相对于所述圆柱形靶的径向向外方向上呈现磁极；和驱动装置，其用于对所述靶和所述磁通量源施加轴向上的相对运动，所述腔室具有至少一个孔并且所述腔室被放置在与所述腔室的内部相比气压相对较低的容器内。