[发明专利]卸载用于气体气相沉积的薄膜暗盒的设备和方法无效

专利信息
申请号: 201080049086.7 申请日: 2010-08-31
公开(公告)号: CN102597314A 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: C·埃斯特拉达;R·D·基纳德;K·H·施尔基图斯 申请(专利权)人: 纳幕尔杜邦公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;C23C16/54;B29C35/00;B29C59/00;B65D83/00;B65H45/00;C23C16/455
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 王伦伟;李炳爱
地址: 美国特*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明是卸载用于气体气相沉积的薄膜暗盒的设备和方法。将涂覆的薄膜从薄膜暗盒转移并且立刻层压到保护性薄膜,同时使之与所述涂覆的薄膜的接触最小化、使所述涂覆的薄膜的折皱或使所述涂覆的薄膜的破裂最小化。
搜索关键词: 卸载 用于 气体 沉积 薄膜 暗盒 设备 方法
【主权项】:
卸载用于气体气相沉积方法的薄膜暗盒的设备,所述设备包括:支撑用于气体气相沉积方法的负载暗盒的暗盒安装支架,所述负载暗盒具有沿边缘支撑的、螺旋卷绕包裹的涂覆的薄膜,所述薄膜具有自由端;连接到所述暗盒的张紧装置;用于保护性薄膜辊的安装支架,所述保护性薄膜具有自由端;能够接纳所述涂覆的薄膜和所述保护性薄膜的自由端从而形成层压体的压料辊;用于收集来自所述压料辊的层压体的收卷辊;和能够将粘合剂施用到所述保护性薄膜的粘合剂涂布机,所述涂布机位于所述保护性薄膜辊和所述压料辊之间。
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