[发明专利]模具和模具的制造方法以及防反射膜有效

专利信息
申请号: 201080049092.2 申请日: 2010-10-27
公开(公告)号: CN102597332A 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 箕浦洁;石动彰信 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: C25D11/04 分类号: C25D11/04;B29C33/38;B29C33/42;C25D11/24;G02B1/10
代理公司: 北京市隆安律师事务所 11323 代理人: 权鲜枝
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的蛾眼用模具的制造方法包含如下工序:(a)准备铝膜(18)的工序,铝膜(18)沉积于基材上,厚度大于等于0.5μm小于等于5μm,在表面(18s)存在晶粒粒径的平均值大于等于200nm小于等于5μm的多个晶粒(18a);(b)在工序(a)之后,对铝膜的表面进行阳极氧化,由此形成具有多个微细凹部(14p)的多孔氧化铝层(14)的工序;以及(c)在工序(b)之后,使多孔氧化铝层与蚀刻液接触,由此使多孔氧化铝层的多个微细凹部扩大的工序。根据本发明,可提供一种简单地制造模具的方法,该模具用于制造在防眩结构上重叠着蛾眼结构的防反射膜。
搜索关键词: 模具 制造 方法 以及 反射
【主权项】:
一种模具的制造方法,上述模具在表面具有反转的蛾眼结构,上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向观看时的二维大小大于等于50nm小于500nm的多个凹部,上述模具的制造方法包含如下工序:(a)准备铝膜的工序,上述铝膜沉积于基材上,厚度大于等于0.5μm小于等于5μm,在表面存在晶粒粒径的平均值大于等于200nm小于等于5μm的多个晶粒;(b)在上述工序(a)之后,对上述铝膜的表面进行阳极氧化,由此形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层的工序;以及(c)在上述工序(b)之后,使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触,由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细凹部扩大的工序。
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