[发明专利]图案产生系统有效
| 申请号： | 201080049362.X | 申请日： | 2010-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102713759A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | J.瓦尔瑟;T.海德瓦恩 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 吴艳 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 一种图案产生系统包括光学系统(106)和转子(100)。光学系统(106)构造成将激光图像投射至光学扫描器(104)上。转子(100)具有相对于彼此以第一角度布置的多个光学臂(102)，并且还包括光学扫描器(104)。激光图像顺序被光学扫描器(104)反射至转子(100)的多个光学臂(102)中的每个光学臂内以在工件上产生图案。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 产生 系统 | ||
【主权项】：
一种图案产生系统，包括光学系统，该光学系统构造成将激光图像投射至光学扫描器上；和转子，该转子具有相对于彼此以第一角度布置的多个光学臂，所述转子还包括所述光学扫描器；其中，所述激光图像顺序被所述光学扫描器反射至所述转子的多个光学臂中的每个光学臂内，以在工件上产生图案。
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