[发明专利]蚀刻液组成物有效
| 申请号： | 201080050506.3 | 申请日： | 2010-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102597163A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 慎蕙驘;刘仁浩;权五柄;李喻珍 | 申请（专利权）人： | 东友FINE-CHEM股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C23F1/20;C23F1/30 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立;高为华 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种由铟系金属膜、铝系金属膜及钛系或钼系金属膜所组成的三重膜的蚀刻液组成物。本发明的蚀刻液组成物，其特征在于，对于组成物的总重量，包含：铁化合物的重量占0.1％～10％、硝酸的重量占0.1％～10％、含氟化合物的重量占0.01％～5％和其余的水的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组成 | ||
【主权项】：
一种由铟系金属膜、铝系金属膜及钛系或钼系金属膜所组成的三重膜的蚀刻液组成物，其特征在于，对于组成物的总重量，包含：铁化合物的重量占0.1％～10％；硝酸的重量占0.1％～10％；含氟化合物的重量占0.01％～5％；和其余的水的部分。
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