[发明专利]固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆

摘要

本发明提供了一种切割性能高，可抑制因硅与水反应而产生氢气的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆。该固定研磨粒线锯用水溶性切割液的特征在于：含有(a)式(1)所示的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量为100～300的低分子量二醇醚的至少1种、以及(c)水，(a)与(b)之比为1∶99～50∶50，(c)的含量为5～50重量％；C4H9O(EO)m(AO)nR1(1)其中，R1表示氢原子或碳数为1～8的烷基或烯基，EO表示氧伸乙基(oxyethylene group)，AO表示碳数为3～4的氧伸烷基(oxyalkylene group)，m及n分别表示1～20的加成摩尔数。

主权项

一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其特征在于：含有(a)式(1)所示的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量为100～300的低分子量二醇醚的至少一种、以及(c)水；(a)与(b)之比为1∶99～50∶50，(c)的含量为5～50重量％；C4H9O(EO)m(AO)nR1                     (1)其中，R1表示氢原子或碳数为1～8的烷基或烯基，EO表示氧伸乙基(oxyethylene group)，AO表示碳数为3～4的氧伸烷基(oxyalkylene group)，m及n分别表示1～20的加成摩尔数。