[发明专利]用于制造LED用蓝宝石单晶基板的蓝宝石单晶、LED用蓝宝石单晶基板、发光元件以及它们的制造方法无效
申请号: | 201080051654.7 | 申请日: | 2010-11-25 |
公开(公告)号: | CN102612575A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 楠木克辉 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/04;C30B33/02;H01L21/20;H01L33/02 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明为杂质Ti的含量最优化的用于制造LED用蓝宝石单晶基板的蓝宝石单晶、LED用蓝宝石单晶基板、发光元件以及它们的制造方法,将Ti含量多的氧化铝作为原料,在非活性气体气氛下在坩埚中熔融,使由蓝宝石单晶构成的晶种与得到的熔体接触,一边旋转一边提拉晶种,从而制造蓝宝石单晶的锭,冷却后,切取蓝宝石单晶基板,使该蓝宝石单晶基板的Ti含量为超过12ppm且100ppm以下,从而可以获得应变及气泡缺陷减少了的LED用蓝宝石单晶基板。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 led 蓝宝石 单晶基板 发光 元件 以及 它们 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制造LED用蓝宝石单晶基板的蓝宝石单晶,其特征在于,Ti含量为超过12ppm且100ppm以下。
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