[发明专利]能源节约和全球气体排放监测

摘要

提供用于增强控制、监测和记录电子装置制造系统的引入化学物和功率使用以及排放的方法和设备。在一些实施例中，集成辅助生产层系统可以监测辅助生产层装备的能源使用。对于系统，工具可以进入许多不同深度的能源节约模式中，例如空闲(浅层能源节约，其中生产装备可以在数秒内恢复至正常生产而不影响质量或产量)、睡眠(深层能源节约，其中生产装备可以在数分钟内恢复)、或休眠(其中生产装备会需要数小时来恢复，以不影响质量或产量)。在一些实施例中，系统可以监测并显示在辅助生产层内的所有气体排放，以及Semi S23方法报告CO2当量排放。系统可以监测来自处理工具和辅助生产层装备的排出物处理气体以及能源使用。

主权项

一种用于提供半导体制造工具的能源使用统计的设备，所述设备包括：控制器，所述控制器：确定一个或多个制造系统辅助生产层的一组能源使用测量；以及报告所述一组能源使用测量。