[发明专利]用于检测等离子体处理系统中等离子体约束状态的方法及装置

摘要

公开了用于检测在电容耦合RF驱动的等离子体处理腔室内的等离子体约束状态的变化的方法和系统。在一个或多个实施方案中，等离子体无约束检测方法采用了模拟电路或数字电路，模拟电路或数字电路能够主动轮询具有静电卡盘（ESC）形式的功率馈送电极处的RF电压以及负责将晶片卡接到ESC的电源（PSU）的开环响应。电路提供了检测传送至ESC的RF电压的变化以及PSU的开环响应的变化的器件。通过同时监测这些电信号，所公开的算法能够检测等离子体从约束状态变为无约束状态的时间。

主权项

一种用于检测等离子体处理腔室中的等离子体无约束的方法，所述等离子体处理腔室具有静电（ESC）卡盘，所述方法包括：将RF电压提供给所述ESC卡盘；设置ESC电源单元，所述ESC电源单元被配置为将DC偏压提供给所述ESC卡盘，所述ESC电源单元连接有中间抽头以接收所述RF电压；同时监测所述RF电压和所述中间抽头的变化，所述变化指示等离子体无约束状况；以及如果通过所述监测检测到所述等离子体无约束状况，则提供指示所述等离子体无约束状况存在的信号。