[发明专利]有机薄膜的成膜装置以及有机材料成膜方法有效
| 申请号： | 201080055842.7 | 申请日： | 2010-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102639746A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 根岸敏夫;藤本弘;平岩秀行 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 崔幼平;杨楷 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 逐次少量地向蒸发槽（41）内供给的有机材料与加热部（43）接触而被加热，成为蒸气并导入缓冲装置（50）中。在缓冲装置（50）中设有具有流路的缓冲部（52），在流路中流动的蒸气与缓冲部（52）碰撞，成为固体的有机材料而附着在缓冲部（52）上。当缓冲部（52）的表面被固体的有机材料覆盖时，蒸发槽（41）内的蒸气发生量的变动被缓冲部（52）抵消，蒸气从排放装置（12）的排放稳定。若在蒸气从排放装置（12）的排放稳定之前，预先将蒸气导入收集装置（60）中并使其在缓冲部（62）的表面上析出，则能够回收而再利用。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 薄膜 装置 以及 材料 方法 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，具有：配置成膜对象物的成膜槽，生成有机材料的蒸气的蒸气生成装置，以及被供给由上述蒸气生成装置生成的上述蒸气的排放装置，上述蒸气从形成在上述排放装置上的排放口向上述成膜槽内排放，其特征在于，上述蒸气生成装置具有：供给上述有机材料的材料供给装置，上述有机材料从上述材料供给装置供给到其中、并对上述有机材料进行蒸发的蒸发装置，将由上述蒸发装置生成的上述蒸气析出并进行再次蒸发的缓冲部，以及控制上述缓冲部的温度的缓冲用温度控制装置，由上述蒸发装置生成的上述蒸气通过上述缓冲部向上述排放装置供给，在上述成膜对象物上形成上述有机薄膜。
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