[发明专利]具有旋转式遮光器的脱气腔室的UV灯总成有效
| 申请号： | 201080057454.2 | 申请日： | 2010-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN102656669A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 威廉·T·哈特;弗雷德·丹尼斯·埃格雷 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01L21/302 | 分类号： | H01L21/302 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 具有旋转式遮光器的UV灯总成，每个旋转式遮光器具有有反射凹面的凹壁。旋转式遮光器可在打开位置和关闭位置之间共同地旋转。在打开位置，旋转式遮光器不阻挡UV灯的UV光线离开UV灯总成，而在关闭位置，旋转式遮光器阻挡UV光线离开UV灯总成。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 旋转 遮光 脱气 uv 总成 | ||
【主权项】：
用于脱气腔室的UV灯总成，包括多个平行UV灯和旋转式遮光器，每个旋转式遮光器包括包围UV灯的凹壁和自所述凹壁的纵向边缘向外延伸的两个法兰，所述旋转式遮光器被配置为在打开位置和关闭位置之间旋转，其中处于所述打开位置的所述旋转式遮光器被布置于所述UV灯上方以便不阻挡所述UV灯的UV光线进入所述脱气腔室；且处于所述关闭位置的所述旋转式遮光器被布置于所述UV灯下方以便阻挡所述UV灯的UV光线进入所述脱气腔室，在所述关闭位置，相邻旋转式遮光器的所述法兰重叠以防止UV光线泄漏。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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