[发明专利]高纵横比的空心制品内部的化学气相沉积

摘要

本发明公开一种用于对空心管状高纵横比工件内部区域进行等离子体强化化学气相沉积的方法和设备。多个阳极被轴向地定距相隔地排列安置于工件的内部区域。生成气体被引入此区域。将各独立的直流或脉冲直流偏压施加于每个阳极。偏压激发生产气体成为等离子体。工件以空心阴极排列被施以偏压。控制内部区域的压力以维持等离子体。狭长支承管安置着阳极，以及接受生产气体管道。电流分配器以各选定的比例分配供应电流至每个阳极。一个或多个凹槽扩散器或腔体扩散器可扩散生产气体或等离子体调节气。等离子体的阻抗与分布可用各种方式加以控制。

主权项

一种高纵横比空心管状工件内部区域等离子体强化化学气相沉积（CVD）方法，包括：沿着纵横比高于或等于约30:1的高纵横比空心管状工件的狭长内部区域的纵轴设置轴向地定距相隔地排列的多个阳极；将CVD生产气体引入工件的内部区域；将各自单独的直流或脉冲直流偏压施加于多个阳极的每一个，以激发生产气体成为等离子体；以及控制工件内部区域中的生产气体压力，以维持等离子体。