[发明专利]真空泵有效
| 申请号： | 201080057905.2 | 申请日： | 2010-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN102648351A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | M.E.托尔纳 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周春梅 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明提供真空泵（10），所述真空泵包括涡轮分子泵送机构（12），所述涡轮分子泵送机构与Siegbahn泵送机构（14）串联。设置第一泵入口（16），气体借助所述第一泵入口能够传送经过所述涡轮分子泵送机构和所述Siegbahn泵送机构。另外，设置级间入口（18），气体借助所述级间入口能够在所述涡轮分子泵送机构和所述Siegbahn泵送机构之间的位置处进入所述泵并且仅传送经过所述Siegbahn泵送机构。存在所述Siegbahn泵送机构的多个第一级中的流动通道（52，62），这些流动通道与所述级间入口（18）流体连通，并且通过所述级间入口进入所述泵的气体沿所述流动通道被平行泵送。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
一种真空泵，包括：涡轮分子泵送机构，所述涡轮分子泵送机构与Siegbahn泵送机构串联；第一泵入口，气体借助所述第一泵入口能够传送经过所述涡轮分子泵送机构和所述Siegbahn泵送机构；以及级间入口，气体借助所述级间入口能够在所述涡轮分子泵送机构和所述Siegbahn泵送机构之间的位置处进入所述泵并且仅传送经过所述Siegbahn泵送机构；其中，所述Siegbahn泵送机构的多个第一级中的流动通道与所述级间入口流体连通，并且通过所述级间入口进入所述泵的气体沿所述流动通道被平行泵送。
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