[发明专利]具有吹扫气体系统的干式真空泵和吹扫方法有效

专利信息
申请号: 201080058543.9 申请日: 2010-11-23
公开(公告)号: CN102762867A 公开(公告)日: 2012-10-31
发明(设计)人: P.J.斯蒂芬斯;I.D.斯通斯;M.W.格雷;P.D.内勒 申请(专利权)人: 爱德华兹有限公司
主分类号: F04C29/00 分类号: F04C29/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 李强;谭祐祥
地址: 英国西萨*** 国省代码: 英国;GB
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供正排量干泵,包括:多个真空抽汲级,其包括由一个或多个传动轴驱动的相应的多个抽汲机构,以通过抽汲级将流体连续地从高真空级处的泵入口抽汲到低真空级处的泵出口;容纳支承传动轴以便其进行旋转运动的轴承组件的润滑室,传动轴通过润滑室的顶板的开口从高真空级延伸到润滑室;级间吹扫端口,气体能通过级间吹扫端口而在高真空级的下游的级间位置处进入泵,且仅传送通过级间端口的下游的真空抽汲级或各个真空抽汲级;位于润滑室中的润滑室吹扫端口,吹扫气体能通过润滑室吹扫端口而从吹扫气体源流出;其中级间端口连接到润滑室上,以控制润滑室中的吹扫气体的压力,从而阻止抽汲气体在使用期间通过顶板开口从高真空室传送到润滑室。
搜索关键词: 具有 气体 系统 真空泵 方法
【主权项】:
一种正排量干泵,包括:多个真空抽汲级,其包括由一个或多个传动轴驱动的相应的多个抽汲机构,以通过所述抽汲级将流体连续地从所述高真空级处的泵入口抽汲到低真空级处的泵出口;容纳用于支承所述传动轴以便其进行旋转运动的轴承组件的润滑室,所述传动轴通过所述润滑室的顶板的开口从所述高真空级延伸到所述润滑室;级间吹扫端口,气体能通过所述级间吹扫端口而在所述高真空级的下游的级间位置处进入所述泵,并且仅传送通过所述级间端口的下游的所述真空抽汲级或各个真空抽汲级;位于所述润滑室中的润滑室吹扫端口,吹扫气体能通过所述润滑室吹扫端口而从吹扫气体源流出;其中,所述级间端口连接到所述润滑室上,以控制所述润滑室中的吹扫气体的压力,从而阻止抽汲气体在使用期间通过所述顶板的所述开口从所述高真空室传送到所述润滑室。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于爱德华兹有限公司,未经爱德华兹有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201080058543.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top