[发明专利]具有调节装置的带电粒子多射束光刻系统

摘要

一种用于将图案传送到目标表面上的带电粒子光刻系统。该系统包括：用于生成多个带电粒子射束的波束产生器（3）、定义柱体的多个射束、具有用于阻挡射束到达目标表面的表面和在表面中的用于允许射束到达目标表面的孔隙阵列的波束停止阵列（10），以及，用于调节射束，以通过使射束偏转或不偏转使得射束被或不被波束停止阵列阻挡，来阻止一个或更多射束到达目标表面或允许一个或更多射束到达目标表面的调节装置（9）。调节装置包括：布置成阵列的用于让射束通过调节装置的多个孔隙、布置成阵列的多个调节器（30），每个调节器配备有在孔隙的相对侧上延伸用于生成跨越孔隙的电压差的电极（32、34），以及，布置成阵列的多个光敏元件（40），用于接收经调节的光束并将光束转换成用于激励调节器的电信号，其中，光敏元件被放置在柱体中，其中，调节装置被再划分成多个备选的波束区域（51）和非波束区域（52），调节器的阵列置于波束区域中，而光敏元件的阵列置于非波束区域中，并与相邻的波束区域中的调节器通信。

主权项

一种用于将图案传送到目标表面上的带电粒子光刻系统，包括：用于生成多个带电粒子射束的波束产生器，所述多个射束定义柱体；波束停止阵列，具有用于阻挡射束到达所述目标表面的表面，以及在所述表面中用于允许所述射束到达所述目标表面的孔隙阵列；以及调节装置，用于调节所述射束，通过使所述射束偏转或不偏转，使得所述射束被或不被所述波束停止阵列阻挡，以阻止所述射束中的一个或多个到达所述目标表面，或者允许所述射束中的一个或多个到达所述目标表面，所述调节装置包括：被布置成阵列的多个孔隙，用于让所述射束通过所述调节装置；被布置成阵列的多个调节器，每个调节器配备有在孔隙的相对侧上延伸的电极，用于生成跨越所述孔隙的电压差；以及被布置成阵列的多个光敏元件，用于接收经调节的光束，并将所述光束转换成用于激励所述调节器的电信号，其中，所述光敏元件被设置在所述柱体中；其中，所述调节装置被再划分成多个交替的波束区域和非波束区域，所述调节器的阵列被设置在所述波束区域中，并且所述光敏元件的阵列被设置在所述非波束区域中，并且与相邻的波束区域中的调节器通信。