[发明专利]填充有机颗粒的抛光垫及其制造和使用方法

摘要

本发明公开了包括处于连续聚合物相中的有机颗粒的抛光垫以及此类垫的制备和在抛光处理中的使用方法。在一个示例性实施例中，所述抛光垫包括一体地形成于片材中的多个抛光元件。在另一示例性实施例中，所述抛光元件通过例如热粘结而粘结到支承层。在某些实施例中，所述抛光垫可另外包括固定到所述支承层的适形层，以及可选的抛光组合物分布层。

主权项

一种抛光垫，其包括：片材，其具有第一主侧面以及与所述第一主侧面相对的第二主侧面；以及多个抛光元件，其沿着基本上垂直于所述第一主侧面的第一方向从所述第一主侧面向外延伸，其中所述抛光元件的至少一部分与所述片材一体地形成并横向连接，以限制所述抛光元件相对于一个或多个其它抛光元件的横向移动，但仍可沿基本上垂直于所述抛光元件的抛光表面的轴线移动，其中所述多个抛光元件的至少一部分包括处于连续聚合物相中的有机颗粒填料。