[发明专利]液浸构件、曝光装置、曝光方法及元件制造方法

摘要

液浸构件以曝光用光的光路由液体填满的方式在和可移动的物体之间形成液浸空间。液浸构件包含：第1板，其配置于光路周围的至少一部分；第2板，其配置于光路周围的至少一部分，包含和第1板的下表面的至少一部分对向的上表面及物体能够对向的下表面；及回收口，其相对于光路配置在第1板的外侧，物体能够和至少一部分对向，回收来自第2板的上表面所面对的第1空间及第2板的下表面所面对的第2空间的液体的至少一部分。

主权项

一种液浸构件，其以曝光用光的光路由液体填满的方式在和可移动的物体之间形成液浸空间；且包含：第1板，其配置在所述光路周围的至少一部分；第2板，其配置在所述光路周围的至少一部分，且包含和所述第1板的下表面的至少一部分对向的上表面及所述物体可对向的下表面；及回收口，其相对于所述光路配置在所述第1板的外侧，所述物体能够和至少一部分对向，回收来自所述第2板的上表面所面对的第1空间及所述第2板的下表面所面对的第2空间的液体的至少一部分。