[发明专利]用于借助微波生成等离子体的装置有效
| 申请号： | 201080061090.5 | 申请日： | 2010-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN103003913A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | H.米格;K-M.鲍姆格特纳;M.凯泽;L.阿尔贝茨 | 申请（专利权）人： | 米格有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧永杰;李家麟 |
| 地址： | 德国赖谢*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于借助微波生成等离子体用来对衬底进行CVD涂层的装置（1）具有反应气体可被输送到的真空箱（2）和布置在其中的电导体（3），所述电导体在其两个端部处分别与用于耦合输入微波的装置（6）以及与电压源（7）相连接，用该电压源（7）可在电导体（3）和周围的真空箱（2）之间生成电位差，其中，电导体（3）相对于用于耦合输入微波的装置（6）是电绝缘的。电导体（3）具有棒状的造型或弯曲的走向。电导体（3）经由穿通滤波器与电压源（7）相连接。用于耦合输入微波的装置（6）朝向电导体（3）漏斗状地展开，并且部分地或完全地用介电材料（11）充填。用于耦合输入微波的装置（6）具有沿着周边伸展的槽形的凹口。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 借助 微波 生成 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
用于借助微波生成等离子体用来对衬底进行CVD涂层的装置，具有反应气体可被输送到的真空箱（2）和具有布置在其中的、与用于耦合输入微波的装置（6）相连接的电导体（3），其特征在于，电导体（3）在其两个端部处分别与用于耦合输入微波的装置（6）相连接，电导体（3）与电压源（7）相连接，用所述电压源（7）可以在电导体（3）和周围的真空箱（2）之间生成电位差，并且电导体（3）相对于用于耦合输入微波的装置（6）电绝缘或脱耦。
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