[发明专利]光照射装置、光照射方法和液晶面板的制造方法无效
| 申请号： | 201080061375.9 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102713760A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 石野健太 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/1339;G09F9/00;G09F9/30;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够抑制掩模和载置台之间具有过多余量的光照射装置。光照射装置(100)隔着掩模(30)对基板(10)照射光，具备：吸附管(40)，其保持掩模(30)；以及载置台(20)，其载置基板(10)。吸附管(40)相对于掩模(30)的平面二维地排列，在载置台(20)上配置有测定基板(10)和掩模(30)之间的距离的光学式变位计(25)。并且，光学式变位计(25)配置于测定掩模(30)的中央区域中的至少2点的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 照射 装置 方法 液晶面板 制造 | ||
【主权项】：
一种光照射装置，隔着掩模对基板照射光，具备：吸附管，其保持上述掩模；以及载置台，其载置上述基板，上述吸附管相对于上述掩模的平面二维地排列，在上述载置台上配置有测定上述基板和掩模之间的距离的光学式变位计，上述光学式变位计配置于测定上述掩模的中央区域中的至少2点的位置。
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