[发明专利]大面积纳米图案的金属冲压复制方法与工艺无效
| 申请号： | 201080061817.X | 申请日： | 2010-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN102713752A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | M·凯尔;罗刚;周晔 | 申请（专利权）人： | 奥博杜卡特股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 由中间聚合物印模获得金属印模的方法与工艺包括下述步骤：在第一聚合物层之上提供第一压印层，压印结构，获得中间印模。若压印的聚合物是非传导的，则在该结构之上提供传导层，获得种子层，在中间聚合物印模之上电镀，获得金属印模，然后从金属印模中分离中间印模。本发明证明高生产量和低成本的印模复制。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 纳米 图案 金属 冲压 复制 方法 工艺 | ||
【主权项】：
由至少一个中间印模获得具有与母模相同结构的金属印模的方法，该方法包括下述步骤：‑在第一载体基底之上提供第一压印层，‑使用母模，在第一压印层内压印结构，获得第一中间印模，‑在结构化的第一中间印模之上提供传导层，获得种子层，‑在种子层之上镀覆金属，获得金属印模，‑从金属印模中分离第一中间印模。
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