[发明专利]形状稳定的镜像模块及稳定反射元件的方法

摘要

一种镜像模块，被提供有：反射元件；附接至反射元件的支撑基座元件；以及用于传递热量至镜像模块和/或从镜像模块传递热量的热量交换元件。镜像模块，更具体地说反射元件，抵抗由于热负荷导致的可能的变形而稳定。稳定的镜像模块包括热泵，例如珀耳帖元件，所述热泵在热交换元件与反射元件和基座元件之间传递热量，更具体地说用于冷却反射元件。提供一种稳定镜像模块的方法，其中热流量被测量以稳定反射元件的形状。

主权项

一种镜像模块(10)，包括：反射元件(12)；基座元件(16)，该基座元件(16)附接至所述反射元件(12)；热交换结构(13)，该热交换结构(13)用来传递热量至所述镜像模块和/或从所述镜像模块传递热量；第一热泵(14)，其能操作地位于所述反射元件(12)和所述热交换结构(13)之间；以及第二热泵(19)，其能操作地位于所述基座元件(16)和所述热交换结构(13)之间。