[发明专利]涂层设备清洁方法有效
| 申请号： | 201080062436.3 | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102812154A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | P·內夫 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;B24C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 曹若;杨国治 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种涂层设备的副面的清洁方法。在涂层之前在副面涂敷一个抗粘附层(10)。涂层材料在抗粘附层沉积之后，借助干冰喷射法和/或二氧化碳一干冰喷射清洁方法处理副面。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 设备 清洁 方法 | ||
【主权项】：
涂层设备的副面的清洁方法，包含下述步骤：—在涂层之前在涂层室的副面涂敷抗粘附层—涂层之后借助干冰喷射和或二氧化碳—干冰喷射清洁方法处理副面。
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