[发明专利]基于微阵列的空间滤波器有效
| 申请号： | 201080062458.X | 申请日： | 2010-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102859368A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | M·德冈;N·达马斯科歇;M·谢弗佩;I·梅恩 | 申请（专利权）人： | 微－埃普西龙光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P3/36 | 分类号： | G01P3/36 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 亓云 |
| 地址： | 德国德累斯顿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种空间滤波测量装置（1）和空间滤波测量设备（2），包括至少一个传感器（4，5；41I–41IV；51）和空间滤波器。其中从测量对象（13）射出或反射的电磁辐射尤其是光通过所述空间滤波器在所述传感器（4，5；41I–41IV；51，52）上成像。本发明还涉及一种实施空间滤波测量的方法。根据本发明的所述空间滤波测量装置被进一步开发，所述空间滤波器被设计成具有可在各自的角位置上移动的镜元件（21–21″′）的微镜阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 阵列 空间 滤波器 | ||
【主权项】：
一种空间滤波测量装置（1），包括至少一个传感器（4，5；41I–41IV；51）和空间滤波器；从测量对象（13）射出或反射的电磁辐射特别是光通过所述空间滤波器在传感器（4，5；41I–41IV；51，52）上成像，其特征在于，所述空间滤波器是包括可移动镜元件（21–21″′）的镜阵列形式尤其是微镜阵列。
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