[发明专利]用铝掺杂的氧化锌涂覆基材的方法无效
| 申请号： | 201080062855.7 | 申请日： | 2010-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN102741446A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | V·西廷;B·希什卡;W·德瓦尔德;F·佐伊伯利希;B·斯坦诺斯基 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/08;C23C14/58;C30B25/06;C30B29/16;C30B33/10;H01L31/18;H01L31/0216;C30B23/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 邓毅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用铝掺杂的氧化锌涂覆基材的方法，包括以下步骤：-通过固体靶的雾化在基材表面上产生介于5nm和400nm之间厚的成核层，其包含氧化锌或掺杂的、特别是铝掺杂的氧化锌；-产生在成核层上以半外延方式进一步生长的包含铝掺杂的氧化锌的覆盖层；以及-湿化学法蚀刻覆盖层。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 氧化锌 基材 方法 | ||
【主权项】：
用铝掺杂的氧化锌涂覆基材的方法，包括以下步骤：‑通过固体靶的雾化在基材表面上产生介于5nm和400nm之间厚的成核层，其包含氧化锌或掺杂的、特别是铝掺杂的氧化锌；‑产生在成核层上以半外延方式进一步生长的包含铝掺杂的氧化锌的覆盖层；以及‑湿化学法蚀刻覆盖层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会，未经弗劳恩霍夫应用研究促进协会许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080062855.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
