[发明专利]操作手自动示教和位置校正系统有效
| 申请号： | 201080065082.8 | 申请日： | 2010-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102782597A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | M.候赛克 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动化公司 |
| 主分类号： | G05B19/402 | 分类号： | G05B19/402 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张懿;李浩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种衬底处理系统，其包括：壳体，用于安置处理装置的至少一部分；固定到所述处理装置上的至少一个目标，所述处理装置具有与所述至少一个目标有已知关系的第一处理装置参考点；至少一个发射器，其位于所述壳体内并且被配置成向所述至少一个目标传送标识所述至少一个发射器的标识信号；以及控制器，其可操作地连接到所述至少一个目标和所述至少一个发射器，所述控制器被配置成基于所述标识信号从所述至少一个目标和所述至少一个发射器中的一个接收数据信号，并且基于所述数据信号来控制所述处理装置的操作特性。 | ||
| 搜索关键词： | 操作手 自动 位置 校正 系统 | ||
【主权项】：
一种衬底处理系统，其包括：壳体，用于安置处理装置的至少一部分；固定到所述处理装置上的至少一个目标，所述处理装置具有与所述至少一个目标有已知关系的第一处理装置参考点；至少一个发射器，其位于所述壳体内并且被配置成向所述至少一个目标传送标识所述至少一个发射器的标识信号；以及控制器，其可操作地连接到所述至少一个目标和所述至少一个发射器，所述控制器被配置成基于所述标识信号从所述至少一个目标和所述至少一个发射器中的一个接收数据信号并且基于所述数据信号来控制所述处理装置的操作特性。
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