[发明专利]具有膜的MEMS器件和制造方法有效
| 申请号： | 201080066397.4 | 申请日： | 2010-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN102834347A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | D.莫滕森;M.吉内鲁普 | 申请（专利权）人： | 埃普科斯股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H04R19/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马永利;王忠忠 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS器件，其包括微机加工的块本体（BB）以及固定到块本体的膜（MM）。优选地从平坦的金属片用激光切割膜并且将膜接合到块本体。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 mems 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS器件，包括微机加工的块本体（BB）和固定到所述块本体的膜（MM），其特征在于，从平坦的金属片激光切割所述膜并且将所述膜接合到所述块本体。
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