[发明专利]用于回收废蚀刻溶液的系统和方法

摘要

本申请提供一种用于回收废蚀刻溶液的系统，所述系统包括用于在蚀刻反应中产生废蚀刻溶液的蚀刻装置；氧化装置，其包括用于从所述废蚀刻溶液中除去氨气的第一处理段和用于氧化从所述第一处理段输送来的废溶液的第二处理段；用于使从所述第二处理段输送来的废蚀刻溶液再生的再生装置和用于从所述第一处理段输送来的废溶液中析出铜的电解装置。本申请还提供用于回收废蚀刻溶液的方法。通过本发明系统和方法，废蚀刻溶液的回收可高达几乎100%。

主权项

一种用于回收废蚀刻溶液的系统，其包括：用于蚀刻反应的蚀刻装置，所述蚀刻反应产生废蚀刻溶液；氧化装置，其包括：连接至所述蚀刻装置的第一处理段，其用于接收从所述蚀刻装置输送来的废蚀刻溶液，所述第一处理段从所述废蚀刻溶液中提取氨气；和连接至所述第一处理段的第二处理段，其用于氧化从所述第一处理段输送来的废溶液中的铜离子；连接至所述第二处理段的再生装置，其用于提高铜络合物[Cu(NH3)4]++的浓度并调节从所述第二处理段输送来的废蚀刻溶液的PH值，将所述铜络合物浓度提高且PH值经调节的所述废蚀刻溶液传送至蚀刻装置以用作蚀刻溶液；和电解装置，其包括：连接至所述第一处理段的电解单元，其用于从所述第一处理段输送来的废溶液中析出铜；连接至所述电解单元的中间槽，其接收来自所述电解单元的铜浓度降低的废溶液；其中将从所述第一处理段提取的氨气输送至所述第二处理段，将从所述第二处理段逸出的气体输送至所述再生装置，并且将从所述再生装置逸出的气体输送回所述第一处理段；且其中将从所述蚀刻装置、所述电解单元和所述中间槽逸出的气体输送至所述第二处理段。