[发明专利]用于涂布玻璃基板的设备和方法

摘要

本发明涉及一种用于使用一种或多种液态初始材料来涂布基板（15）的设备和方法。该基板通过下述方式进行涂布：将一种或多种液态初始材料雾化成微滴（3），在初始材料与基板（15）表面发生反应之前，在沉积腔室（16）内使微滴（3）汽化。根据本发明，在使微滴（3）汽化之前，利用电场力将微滴（3）朝向基板（15）引导。

主权项

一种用于使用一种或多种液态初始材料来涂布玻璃基板（15）的设备，该设备包括：至少一个雾化器（2），所述至少一个雾化器用于将所述一种或多种液态初始材料雾化成微滴（3）；沉积腔室（16），在所述沉积腔室中，所述液态初始材料在基板（15）的表面上发生反应；以及热反应器，所述热反应器用于在初始材料在基板（15）的表面上发生反应之前使微滴（3）汽化，其特征在于：所述设备还包括引导装置，所述引导装置用于在使微滴（3）汽化之前，利用电场力将微滴（3）朝向基板（15）的表面引导。