[发明专利]探针

摘要

本发明公开了一种稳定地传送测试信号的探针。探针电连接半导体装置和用于测试半导体装置的测试器。探针可以包括：上柱塞，所述上柱塞被构造成电连接到半导体装置；下柱塞，所述下柱塞被构造成电连接到测试器；弹性构件，所述弹性构件设置在上柱塞与下柱塞之间，并且弹性偏压上柱塞和下柱塞以使上柱塞和下柱塞彼此分隔开；导电构件，所述导电构件设置在弹性构件的内部或外部中并电连接上柱塞和下柱塞；和桶状部，在所述桶状部中容纳上柱塞、下柱塞、弹性构件和导电构件。

主权项

一种探针，所述探针电连接半导体装置和用于测试半导体装置的测试器，所述探针包括：上柱塞，所述上柱塞被构造成电连接到所述半导体装置；下柱塞，所述下柱塞被构造成电连接到所述测试器；弹性构件，所述弹性构件设置在所述上柱塞与所述下柱塞之间，并且弹性地偏压所述上柱塞和所述下柱塞以使所述上柱塞和所述下柱塞彼此分隔开；导电构件，所述导电构件设置在所述弹性构件的内部或外部中并电连接所述上柱塞和所述下柱塞；和桶状部，在所述桶状部中容纳所述上柱塞、所述下柱塞、所述弹性构件和所述导电构件。