[发明专利]加速度计

摘要

加速度计100可以包括具有位于其上面的包括多个定子电极110（例如A、B和C）的定子电极阵列106的支撑结构104；以及与定子电极阵列平行地定位且能够实现与之平行的位移的检验质量102。面对定子电极阵列的转换器电极阵列108可以包括可以位于检验质量上的多个转换器电极112（例如a和b）。还包括的是用以向由定子和转换器电极形成的六个电容施加驱动电压的驱动电路114。由驱动电压施加于检验质量上的合力保持恒定于约零。

主权项

一种加速度计110，包括：支撑结构104，其具有位于其上面的包括定子电极A、定子电极B和定子电极C的定子电极阵列106；检验质量102，其与定子电极阵列平行地定位并能够实现在平行于定子电极阵列的方向上的位移，并且具有位于其上面的面对定子电极阵列且包括转换器电极a和转换器电极b的转换器电极阵列108，其中，所述定子电极和所述转换器电极形成电容CaA、CbA、CaB、CbB 、CaC以及CbC；以及驱动电路114，其用以向所述电容施加多个驱动电压，从而生成两个输出信号116，其中，由驱动电压施加于检验质量上的合力保持恒定为约零。