[发明专利]研磨垫及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201080069494.9 申请日: 2010-10-26
公开(公告)号: CN103153539A 公开(公告)日: 2013-06-12
发明(设计)人: 中井良之;小川一幸;中村贤治 申请(专利权)人: 东洋橡胶工业株式会社
主分类号: B24B37/24 分类号: B24B37/24;B24D18/00;H01L21/304
代理公司: 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人: 钟守期;苏萌
地址: 日本大阪*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的目的是提供难以在研磨对象物的表面产生刮痕、且修整性提高的研磨垫及其制造方法。本发明的研磨垫具有由无发泡聚氨酯形成的研磨层,其特征在于:所述无发泡聚氨酯是聚氨酯原料组合物的反应固化物,所述聚氨酯原料组合物包含:异氰酸酯封端的预聚物A,其将含有二异氰酸酯、高分子量多元醇(a)、及低分子量多元醇的预聚物A原料组合物反应而得,异氰酸酯封端的预聚物B,其将含有通过3个以上的二异氰酸酯加成而多聚物化的异氰酸酯改性物、及高分子量多元醇(b)的预聚物B原料组合物反应而得,及链延长剂;异氰酸酯封端的预聚物B的添加量相对于100重量份的异氰酸酯封端的预聚物A为5重量份~30重量份。
搜索关键词: 研磨 及其 制造 方法
【主权项】:
研磨垫,其具有由无发泡聚氨酯形成的研磨层,其特征在于:所述无发泡聚氨酯是聚氨酯原料组合物的反应固化物,所述聚氨酯原料组合物包含:异氰酸酯封端的预聚物A,其将含有二异氰酸酯、高分子量多元醇(a)、及低分子量多元醇的预聚物A原料组合物反应而得,异氰酸酯封端的预聚物B,其将含有通过3个以上的二异氰酸酯加成而多聚物化的异氰酸酯改性物、及高分子量多元醇(b)的预聚物B原料组合物反应而得,及链延长剂;异氰酸酯封端的预聚物B的添加量相对于100重量份的异氰酸酯封端的预聚物A为5~30重量份。
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